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Meßverfahren zur Ermittlung von Halbleiterparametern

  • Chapter
Halbleiter-Technologie

Part of the book series: Halbleiter-Elektronik ((HALBLEITER,volume 4))

  • 302 Accesses

Zusammenfassung

Nachfolgend sollen einige Meßverfahren zur Ermittlung elektrischer und physikalischer Halbleiterparameter angegeben werden. Anwendung findet die Halbleitermeßtechnik bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen prinzipiell zur Verbesserung und Überwachung der Kristallherstellung und Kennzeichnung des Grundmaterials durch Angabe des Leitungstyps, der Leitfähigkeit und anderer elektrischer Parameter, sowie zur Überwachung der Veränderungen im Material infolge technologischer Prozesse, z.B.zusätzliche Dotierung zur Herstellung von pn-Übergängen, und Optimierung dieser Prozesse.

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© 1991 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Ruge, I., Mader, H. (1991). Meßverfahren zur Ermittlung von Halbleiterparametern. In: Halbleiter-Technologie. Halbleiter-Elektronik, vol 4. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-58235-6_6

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  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

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